半導(dǎo)體廢氣處理
一設計標準、半導(dǎo)廢氣處理成份
半導(dǎo)體行業(yè)廢氣主要成分為有機廢氣和酸堿廢氣兩類。有機類成分：非甲烷總烴結構、氮氧化物意見征詢、二氧化硫等逐漸完善，酸堿類成分：氨氣、硫酸霧自動化、氟化物提升、氯化物、氯氣等不折不扣。
二支撐能力、行業(yè)排放標(biāo)準(zhǔn)
三防控、半導(dǎo)體廢氣處理方法
一般半導(dǎo)體行業(yè)針對廢氣處理的解決方案如下：
(1)預(yù)處理階段：采用噴淋塔先對廢進行預(yù)處理示範，去除粉塵以及易溶于水的有害氣體。
(2)主要處理階段：在此階段業務指導，比較常見而有效方法有：UV光解講理論，生物過濾分解的可能性，焚燒和催化燃燒等。
由于每家企業(yè)具體產(chǎn)生的廢氣成分服務為一體、風(fēng)量大小問題、廢氣濃度不同，所以采用的半導(dǎo)體廢氣處理方法也會不同或者需要多種方法結(jié)合使用全會精神，具體處理方案可以咨詢我們系統穩定性，我們將有工程師一對一為您定制廢氣處理方案。
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